分析样品仓可以满足日益增长的样品元素信息及晶体结 构分析需求，它同时支持相对的双能谱（EDS）探测器、共面能 谱（EDS） /电子背散射衍射（EBSD）和平行束波谱（WDS） 探测器。支持扫描预设、便捷的相机导航和Thermo ScientificSmartSCAN™，更进一步提升了生产力、数据质量和易用性。对于日常工作，Prisma E SEM可以使用强大的基于Python的脚本工具Autoscript自动执行。

产品特点

• 在自然状态下对材料进行原位研究：在各种操作模式下分析导电和不导电样品， 同步获取二次电子像和背散射电子像。

• 最大程度缩短样品制备时间：低真空和环境真空技术可针对不导电和/或含水样品直接成像和分析，样品表面无荷电累积。

• 观察所有样品获取全面的信息，在每种操作模式下均可同时进行SE和BSE成像。

• 原位分析配置专门的原位实验台，温度范围从-165℃到1400℃。

• 卓越的分析功能：大样品仓可安装3个EDS 探测器、WDS和共面EDS/EBSD，其中两个EDS端口为180°正对。

• 卓越的不导电样品分析功能：借助多级穿过透镜的真空系统，实现低真空下的高质量EDS 和 EBSD 分析。

• 高精度优中心样品台，105°倾斜角度范围，可全方位观察样品。

• 软件直观、简便易用，配置用户向导及 Undo（撤销）功能，新手用户可进行高效操作，专家用户也可进行更少的操作，完成快速分析。

• 广泛的配置选项，包括可伸缩的RGB CL阴极荧光探测器、1100℃ 高真空热台、μHeater 和Autoscript（基于Python的脚本工具API）。

参数

电子束

• 高真空成像

 - 30 keV下 3.0 nm （SE）

 - 30 keV下 4.0 nm（BSE）*

 - 3 keV下 8.0 nm （SE）

• 高真空下，电子束减速模式

 - 3 keV下7.0 nm （电子束减速模式* + DBS*）

• 低真空成像

 - 30 keV下 3.0 nm （SE）

 - 30 keV下 4.0 nm（BSE）

 - 3 keV下 10.0 nm （SE）

• ESEM

 - 30 keV下 3.0 nm （SE）

• 电子束流范围：最大 2 μA，连续可调

• 加速电压范围：200 V - 30 kV

• 放大倍数 ：6 – 1,000,000 倍

样品仓

• 内宽：340 mm

• 分析工作距离：10 mm

• 端口：12

• EDS 出射角：35°

• 可同时安装三个 EDS 探测器，其中两个处于180°

• 共面 EDS/EBSD ，与样品台倾斜轴垂直设定了预配置方法包括自定义方法和数据导出功能的用户友好软件

• 通用 9 针电气接口

真空系统

• 1个250 升/秒涡轮分子泵（TMP）

• 专利的“穿过透镜”的压差真空系统

• 电子束在气体区域的行程（BGPL）：10 mm 或 2 mm

• 典型换样时间：高真空模式 ≤ 3.5 分钟；环境真空模式≤4.5 分钟

• 可选 CryoCleaner 冷阱

• 可选升级成无油机械泵（PVP）

订货信息

详情请访问  www.pschina55.com 上海杰星科技（sem扫描电镜）