为了获得高质量的结果，需要使用低能离子进行精抛，以最大限度地减少样品的表面损伤。Tomahawk聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下进行高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的TEM薄片。

产品特点

• Tomahawk离子镜筒实现最快速、最简便的高质量、定位TEM和原子探针样品制备。

• 最佳Elstar电子镜筒以最短时间获取纳米尺度信息。

• 多��6个集成化镜筒内及透镜下���测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供最完整的样品信息。

• 可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取最高质量、多模态内部和三维信息。

• 小于10nm复杂结构的快速、准确、精确刻蚀和沉积。

• 高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav- Cam ™ 相机实现精确样品导航。

• 集成化样品清洁管理和专用的DCFI和Thermo Scientific SmartScan ™ 等模式实现无伪影成像。

参数

电子束

• 在最佳工作距离下：

  − 30kV下STEM 0.6nm

  − 15kV下 0.6nm

  − 1kV下 1.0nm

  − 1kV下 电子束减速模式 0.9nm

• 在束重合点：

  − 15kV下 0.6nm

  − 1kV下 2.5nm

• 电子束流范围：0.8pA–100nA

• 加速电压范围：200V-30kV

• 着陆能量范围： 20eV-30keV

• 最大水平视场宽度：4mm工作距离下为2.3mm

离子光学

• 卓越的大束流Tomahawk离子镜筒

• 离子束流范围：0.1pA–65nA

• 加速电压范围：500 V-30kV

• 两级差分抽吸

• 飞行时间（TOF）校准

• 15 孔光阑

• 最大水平视场宽度：在束重合点出为0.9mm

• 离子源寿命至少1,000小时

• 离子束分辨率（在重合点处）：

 − 30kV下 4.0nm（采用首选统计方法）

 − 30kV下 2.5nm（采用选边法）

探测器

• Elstar 透镜内SE/BSE 探测系统（TLD-SE、TLD-BSE）

• Elstar 镜筒内SE/BSE 探测系统（ICD）

• Elstar 镜筒内BSE 探测系统（MD）

• ETD–Everhart-Thornley 二次电子探测器

• 样品室红外CCD相机，用于样品台高度观察

• ICE探测器-高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二次离子

• Nav-Cam ™ ： 样品室内彩色光学相机，用于样品导航

• DBS–可伸缩式低电压、高衬度、固态背散射电子探测器

• STEM 3+ – 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF)

• 集成电子束流测量

样品台和样品

• 灵活五轴电动样品台：

 -XY范围：110mm

 - Z范围：65mm

• 旋转：360°（连续）

• 倾斜范围：-15°到 +90°

• XY重复精度：3μm

• 最大样品高度：与优中心点间隔85mm

• 最大样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托）

• 最大样品尺寸：可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm（若样品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限）

• 同心旋转和倾斜真空系统

• 完全无油的真空系统

• 样品仓真空（高真空）：< 2.6 x 10 -6 mbar（24小时抽气后），抽气时间：< 5 分钟样品仓

• 电子束和离子束重合点在分析工作距离处（SEM 4mm）

• 端口：21个

• 内宽：379mm

• 集成等离子清洗

订货信息

详情请访问 www.pschina55.com 上海杰星科技（离子浓度测量仪）